气体质量流量控制器M3050V/A 25SLPM-50SLPM
产品优势:
质量流量检测
无需压力和温度校正
方便型的流量控制系统
高准确度
耐高压(90bar)
响应速度快
高重复精度
技术参数：
|
Model |
M3050V |
M |
|
流量范围(N2) |
25 slpm~ 50 slpm |
25 slpm~ 50 slpm |
|
响应时间 |
≤2 sec |
≤2 sec |
|
精准度 |
≤±1% FS |
≤±1% FS |
|
重复精度 |
≤±0.25% FS |
≤±0.25% FS |
|
输入/输出信号 |
0~5 Vdc |
0~5 Vdc OR 4~20 mA |
|
供电电压 |
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
|
耐压 |
≤90 bar |
≤90 bar |
|
工作环境温度 |
0~ |
0~ |
|
漏率 |
1*10E-9 atm cc/sec |
1*10E-9 atm cc/sec |
|
使用范围 |
2 ~ 100% |
2 ~ 100% |
